在先進半導(dǎo)體制造中，等離子刻蝕設(shè)備對結(jié)構(gòu)材料的熱穩(wěn)定性、尺寸精度和表面質(zhì)量提出了極高要求 而使用微晶玻璃作為等離子刻蝕腔體可以大幅提升設(shè)備的熱穩(wěn)定性和刻蝕均勻性。微晶玻璃（Zerodur）具備極低的熱膨脹系數(shù)，可達（CTE ≈ 0 ± 0.02 &ti